一幅科技感十足的插图,展示AI大脑指挥机械臂在洁净实验室中合成光刻胶树脂,背景是芯片与分子结构图
一幅科技感十足的插图,展示AI大脑指挥机械臂在洁净实验室中合成光刻胶树脂,背景是芯片与分子结构图

国产高端光刻胶树脂实现稳定制备,也给关注半导体材料突破的同事一个可以一起看的背景。

国产光刻胶树脂突破‘黑箱’依赖 事件脉络与关键事实

光刻胶是芯片制造的关键材料,其核心成分光刻胶树脂的高质量制备长期被少数国外企业垄断,依赖不透明的‘黑箱’工艺。这一局面正在被打破。上海人工智能实验室联合厦门大学、苏州实验室等单位,基于“书生”科学大模型和智能化合成平台,成功研制出高纯度、高一致性的KrF光刻胶树脂,实现了从AI决策到自动化合成的闭环研发。

该体系采用“决策—互联—执行—迭代”模式,通过多反应器与工作站协同,实现液体精准转移、惰性气氛保护和多级自动化后处理。系统利用精密三轴伺服控制和全密封加液技术,将金属杂质含量稳定控制在10ppb以下,分子量分布PDI控制在1.3以内,达到国际先进水平。这解决了传统经验式试错研发周期长、批次不稳定的问题。

“书生”大模型作为系统的“数字大脑”,生成实验方案并优化参数,指导物理实验室完成高通量合成与表征,实验数据再回传模型进行迭代优化,形成“干实验—湿实验”闭环。恒坤新材已完成树脂适配,关键指标达标,即将进入客户端验证阶段。这一突破为我国高端光刻胶材料的自主可控提供了新路径。

事实

  • 上海人工智能实验室联合厦门大学、苏州实验室,基于“书生”科学大模型研制出高纯度KrF光刻胶树脂
  • 树脂金属杂质含量稳定控制在10ppb以下,PDI(多分散指数)稳定在1.3以下
  • 研发体系实现AI决策与自动化合成闭环,支持多批次稳定产出
  • 恒坤新材已完成树脂适配,关键性能达标,将进入客户端验证阶段
  • 该成果标志着光刻胶树脂研发从‘经验试错’向‘数据驱动’转型

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