光刻膠是芯片製造的核心材料，其品質直接影響芯片性能與良率。長期以來，高端光刻膠樹脂的研發受制於國外少數企業的「黑箱能力」，且傳統經驗驅動的試錯模式週期長、一致性難以保障。在新一代人工智慧國家科技重大專項支持下，上海人工智能實驗室攜手廈門大學、蘇州實驗室等單位，基於「書生」科學大模型與科學發現平台，成功研製出高純度、高一致性的KrF光刻膠樹脂。

研究團隊構建了「決策—互聯—執行—迭代」的智能化研發體系，實現從AI生成實驗方案到自動化合成、表徵與數據回傳的全流程閉環。系統採用多反應器協同架構與全密封加液技術，有效避免氧氣、水汽與金屬雜質污染，將成品樹脂的金屬雜質含量穩定控制在10ppb以下，分子量分佈的PDI指標低於1.3。

「書生」科學大模型Intern-S1作為系統的數位大腦，結合優化算法進行實驗方案生成與參數優化，大幅減少無效試錯。實驗數據自動回傳後驅動模型迭代，實現「乾實驗—濕實驗」閉環研發。目前，恆坤新材已完成樹脂適配，關鍵性能達標，後續將進入客戶端驗證階段，為我國高端光刻膠產業自主化開闢新路徑。